Publication: Эволюция электронных свойств нанокластеров тантала и оксидов в окрестности фазового перехода в непроводящее состояние
Дата
2024
Авторы
Шилов, В. А.
Бортко, Д. В.
Балахнёв, К. М.
Борисюк, П. В.
Васильев, О. С.
Journal Title
Квантовая электроника
Journal ISSN
Volume Title
Квантовая электроника
Издатель
Аннотация
Получены core-shell образцы тонких плёнок нанокластеров тантала и оксидов тантала на кремнии. По результатам рентгеновского фотоэлектронного спектроскопического анализа определён химический состав нанокластеров Ta/TaO2. По характеру угловых зависимостей соотношений пиков дублета Ta4f и кислорода была установлена однородность состава тонкой нанокластерной плёнки. Для нанокластеров металлического тантала диаметром менее 5 нм наблюдался эффект размерного сдвига энергии связи и была установлена его зависимость от диаметра нанокластеров.
Описание
Ключевые слова
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия , Энергия связи , Ta , Оксид тантала TaO2 , Тонкие плёнки , Нанокластеры , Наночастицы
Цитирование
Эволюция электронных свойств нанокластеров тантала и оксидов в окрестности фазового перехода в непроводящее состояние / Шилов В. А. [и др.] // Квантовая электроника,- 2024. - 54, 10. - С. 622-625