Publication: Эволюция электронных свойств нанокластеров тантала и оксидов в окрестности фазового перехода в непроводящее состояние
Дата
2024
Авторы
Шилов, В. А.
Бортко, Д. В.
Балахнёв, К. М.
Борисюк, П. В.
Васильев, О. С.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Получены core-shell образцы тонких плёнок нанокластеров тантала и оксидов тантала на кремнии. По результатам рентгеновского фотоэлектронного спектроскопического анализа определён химический состав нанокластеров Ta/TaO2. По характеру угловых зависимостей соотношений пиков дублета Ta4f и кислорода была установлена однородность состава тонкой нанокластерной плёнки. Для нанокластеров металлического тантала диаметром менее 5 нм наблюдался эффект размерного сдвига энергии связи и была установлена его зависимость от диаметра нанокластеров.
Описание
Ключевые слова
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия , Энергия связи , Ta , Оксид тантала TaO2 , Тонкие плёнки , Нанокластеры , Наночастицы
Цитирование
Эволюция электронных свойств нанокластеров тантала и оксидов в окрестности фазового перехода в непроводящее состояние / Шилов В. А. [и др.] // Квантовая электроника,- 2024. - 54, 10. - С. 622-625