Publication:
Ионные и плазменные источники для создания модифицированных слоев в диэлектриках

Простая страница элемента
dc.contributor.advisorПаперный, В. Л.
dc.contributor.authorШипилова, О. И.
dc.date.accessioned2024-08-13T09:01:15Z
dc.date.available2024-08-13T09:01:15Z
dc.date.issued2019
dc.descriptionавтореф. дис. ... кандидата физ.-мат. наук : (01.04.08 - физика плазмы)
dc.identifier.citationШипилова, О. И. Ионные и плазменные источники для создания модифицированных слоев в диэлектриках : автореф. дис. ... кандидата физ.-мат. наук : (01.04.08 - физика плазмы) / О. И. Шипилова ; рук. работы В. Л. Паперный ; Иркутский государственный университет. [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т "МИФИ"]. - Иркутск, 2019. - 22 с.
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/13360
dc.identifier.urihttps://lib-repository.mephi.ru/abstracts_of_dissertations_mephi/SHipilova_OI_Ionnye_i_plazmennye_istochniki_2019.pdf
dc.languagerusru
dc.relation.ispartof22 c.
dc.subjectПлазма
dc.subjectПленки
dc.subjectИонный энергоанализатор
dc.subjectПучки ионов
dc.subjectИсточники плазмы
dc.subject01.04.08 - физика плазмы
dc.titleИонные и плазменные источники для создания модифицированных слоев в диэлектриках
dc.typeАвтореферат диссертации канд. физ.-мат. наук
dspace.entity.typePublication
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
SHipilova_OI_Ionnye_i_plazmennye_istochniki_2019.pdf
Size:
1.08 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
Коллекции
Авторефераты диссертаций