Publication: Ионные и плазменные источники для создания модифицированных слоев в диэлектриках
Дата
2019
Авторы
Шипилова, О. И.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Описание
автореф. дис. ... кандидата физ.-мат. наук : (01.04.08 - физика плазмы)
Ключевые слова
Плазма , Пленки , Ионный энергоанализатор , Пучки ионов , Источники плазмы , 01.04.08 - физика плазмы
Цитирование
Шипилова, О. И. Ионные и плазменные источники для создания модифицированных слоев в диэлектриках : автореф. дис. ... кандидата физ.-мат. наук : (01.04.08 - физика плазмы) / О. И. Шипилова ; рук. работы В. Л. Паперный ; Иркутский государственный университет. [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т "МИФИ"]. - Иркутск, 2019. - 22 с.