Publication:
Features of Pulsed Laser Annealing of BC3 Films on a Sapphire Substrate

Дата
2019
Авторы
Zinin, P. V.
Filonenko, V. P.
Fominski, V. Y.
Romanov, R. I.
Solov'ev, A. A.
Vasil'evskii, I. S.
Safonov, D. A.
Ivanov, A. A.
Показать ещё 4
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2019, Pleiades Publishing, Ltd.Abstract: The morphology, chemical composition, microstructure, and electrical properties of BC3 thin films subjected to melting by a nanosecond laser pulse are investigated. The original films have been created by pulsed laser codeposition of B and C onto a sapphire substrate at 150 and 350°C. Morphological changes in the films depended on their initial structural state. However, a “frozen” structure of both films after irradiation corresponded to the B-saturated graphite-like phase, the local composition of which varied due to the formation of inclusions of amorphous boron carbide. Before and after irradiation, the films exhibited a slightly decreasing dependence of the surface resistance with increasing temperature from 4.2 to 330 K. After laser irradiation, the films resistance has decreased by a factor of ~2.6.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Features of Pulsed Laser Annealing of BC3 Films on a Sapphire Substrate / Zinin, P.V. [et al.] // Technical Physics Letters. - 2019. - 45. - № 5. - P. 446-449. - 10.1134/S1063785019050055
URI
https://www.doi.org/10.1134/S1063785019050055
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85067296248&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000471652200008
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/18254
Коллекции
Публикации