Publication:
Influence of nanosecond laser irradiation on the structure and conductivity of BCx films

Файлы
W2953431318.pdf(1.17 MB)
Дата
2019
Авторы
Zinin, P. V.
Filonenko, V. P.
Troyan, I. A.
Bulatov, K. M.
Romanov, R. I.
Fominski, V. Y.
Vasil'Evskii, I. S.
Safonov, D. A.
Fominski, D. V.
Soloviev, A. A.
Показать ещё 6
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© Published under licence by IOP Publishing Ltd.Thin-film precursors of BCx were formed by pulsed laser codeposition of boron and carbon. Targets made of pressed boron and carbon powders with an equal element content (B/C = 1/1) and an increased carbon content (B/C = 1/3) were used. The films were deposited on sapphire substrates at elevated temperature (700C) which determined the initial properties of the precursor BCx films. Irradiation of the films was carried out by laser pulses of nanosecond duration with varying intensity. The films obtained by laser annealing of BCx (Q-BCx) were studied by scanning electron microscopy and micro-Raman spectroscopy. Irradiation under optimal conditions made allowed to realize pulsed melting of the films and partial preservation of their continuity on the substrate. The local structure of Q-BCx films and the nature of the changes in their electrophysical properties depended on the composition of the precursor films and the laser irradiation regimes.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Influence of nanosecond laser irradiation on the structure and conductivity of BCx films / Zinin, P.V. [et al.] // Journal of Physics: Conference Series. - 2019. - 1238. - № 1. - 10.1088/1742-6596/1238/1/012008
URI
https://www.doi.org/10.1088/1742-6596/1238/1/012008
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85069967579&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/18522
Коллекции
Публикации