Publication: ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ КРАТЕРОВ НА ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРНОГО ИМПУЛЬСА
Файлы
Дата
2026
Авторы
ПОКЛАД, А. И.
ПЕТРОВСКИЙ, В. Н.
ЩЕКИН, А. С.
ГУРСКИЙ, Д. С.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Выполнено численное моделирование формирования абляционного кратера на поверхности монокристаллического кремния при облучении одиночным фемтосекундным лазерным импульсом. Рассмотрены три подхода на основе двухтемпературной модели: с поверхностным источником излучения, с учётом однофотонного поглощения и с дополнительным включением двухфотонного поглощения. Показано, что вклад двухфотонного поглощения незначим, поскольку интенсивности излучения существенно ниже порога его проявления. Модели, учитывающие объёмное поглощение света, воспроизводят глубину кратера с ошибкой до 4 %, в то время как модель с поверхностным граничным условием даёт отклонение до 18 %. Ошибка предсказания диаметра кратера составляет 18–19 % для моделей с поглощением и 15–29 % — для модели с поверхностным источником.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ КРАТЕРОВ НА ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРНОГО ИМПУЛЬСА / ПОКЛАД А. И [и др.] // Лазерные, плазменные исследования и технологии - ЛаПлаз-2026: сборник научных трудов XI Международной конференции. - 2026.- С. 77