Publication:
Research of ultrashort laser processing Si and glass for microelectronics applications

Дата
2024
Авторы
Kataev, D. M.
Evtikhiev, N. N.
Grezev, N. V.
Murzakov, M. A.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Research of ultrashort laser processing Si and glass for microelectronics applications / Kataev, D.M. [et al.] // 2024 International Conference Laser Optics, ICLO 2024 - Proceedings. - 2024. - 10.1109/ICLO59702.2024.10624239
URI
https://www.doi.org/10.1109/ICLO59702.2024.10624239
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85203134096&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/26289
Коллекции
Публикации