Publication:
Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы

Простая страница элемента
dc.contributor.advisorФоминский, В. Ю.
dc.contributor.authorДемин, М. В.
dc.date.accessioned2024-08-13T08:58:51Z
dc.date.available2024-08-13T08:58:51Z
dc.date.issued2013
dc.descriptionавтореф. дис... кандидата физ.-мат. наук: (01.04.07-физика конденсированного состояния)
dc.identifier.citationДемин, М. В. Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы : автореф. дис... кандидата физ.-мат. наук: (01.04.07-физика конденсированного состояния) / М. В. Демин ; рук. работы В. Ю. Фоминский. - Москва : НИЯУ МИФИ, 2013. - 23 с.
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/13244
dc.identifier.urihttps://lib-repository.mephi.ru/abstracts_of_dissertations_mephi/Demin_Formirovanie_tonkoplenochnyh_i_ionno-implantirovannyh_2013.pdf
dc.languagerusru
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.relation.ispartof23 c.
dc.subjectАвтор МИФИ
dc.subjectТонкопленочные структуры
dc.subjectИмпульсная лазерная плазма
dc.subjectИонно-имплантированные структуры
dc.subjectКарбид кремния
dc.subjectДетекторы
dc.subjectГазосенсорные устройства
dc.subject01.04.07- физика конденсированного состояния
dc.titleФормирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы
dc.typeАвтореферат диссертации канд. физ.-мат. наук
dspace.entity.typePublication
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
Demin_Formirovanie_tonkoplenochnyh_i_ionno-implantirovannyh_2013.pdf
Size:
1.29 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
Коллекции
Авторефераты диссертаций