Publication: Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы
Дата
2013
Авторы
Демин, М. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Описание
автореф. дис... кандидата физ.-мат. наук: (01.04.07-физика конденсированного состояния)
Ключевые слова
Автор МИФИ , Тонкопленочные структуры , Импульсная лазерная плазма , Ионно-имплантированные структуры , Карбид кремния , Детекторы , Газосенсорные устройства , 01.04.07- физика конденсированного состояния
Цитирование
Демин, М. В. Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы : автореф. дис... кандидата физ.-мат. наук: (01.04.07-физика конденсированного состояния) / М. В. Демин ; рук. работы В. Ю. Фоминский. - Москва : НИЯУ МИФИ, 2013. - 23 с.