Publication: Исследование оптических свойств нанокластерных пленок оксида тантала в инфракрасном диапазоне
Дата
2023
Авторы
Бортко, Д. В.
Борисюк, П. В.
Шилов, В. А.
Васильев, О. С.
Лебединский, Ю. Ю.
Балахнев, К. М.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Представлены результаты формирования, аттестации морфологии поверхности и исследования оптических свойств в ближнем и среднем ИК диапазоне нанокластерных пленок Та2О5, полученных путем термического оксидирования на атмосфере монодисперсных кластерных пленок металлического тантала, созданных на подложках кремния Si(001) методом магнетронного распыления. Методами атомно-силовой микроскопии (in situ) получены изображения поверхности и показано, что пленки Ta обладают пористой плотноупакованной структурой, состоящей из отдельных наночастиц сферической формы. При помощи спектрометра на ближний и средний ИК диапазон излучения исследованы оптические свойства полученных пленок. Показано, что тонкие пленки (толщиной менее 100 нм) имеют резкую границу между областью пропускания излучения и областью поглощения и/или отражения, тогда как для более толстых пленок данный эффект постепенно исчезает с ростом толщины кластерной пленки и не зависит от размера нанокластеров. Обсуждается возможность применения полученных структур в составе термофотоэлектрогенераторов с целью повышения их КПД.
Описание
Ключевые слова
пропускание ИК излучения , Ta2O5 , оксид тантала , нанокластерные тонкие пленки
Цитирование
Исследование оптических свойств нанокластерных пленок оксида тантала в инфракрасном диапазоне [Text]. / Бортко Д. В. [et al.] // Ядерная физика и инжиниринг. - 2023. - 14, 2. - С. 194-201