Publication: Исследование оптических свойств нанокластерных пленок оксида тантала в инфракрасном диапазоне
Дата
2023
Авторы
Бортко, Д. В.
Борисюк, П. В.
Шилов, В. А.
Васильев, О. С.
Лебединский, Ю. Ю.
Балахнев, К. М.
Journal Title
Ядерная физика и инжиниринг
Journal ISSN
Volume Title
Ядерная физика и инжиниринг
Издатель
Аннотация
Представлены результаты формирования, аттестации морфологии поверхности и исследования оптических свойств в ближнем и среднем ИК диапазоне нанокластерных пленок Та2О5, полученных путем термического оксидирования на атмосфере монодисперсных кластерных пленок металлического тантала, созданных на подложках кремния Si(001) методом магнетронного распыления. Методами атомно-силовой микроскопии (in situ) получены изображения поверхности и показано, что пленки Ta обладают пористой плотноупакованной структурой, состоящей из отдельных наночастиц сферической формы. При помощи спектрометра на ближний и средний ИК диапазон излучения исследованы оптические свойства полученных пленок. Показано, что тонкие пленки (толщиной менее 100 нм) имеют резкую границу между областью пропускания излучения и областью поглощения и/или отражения, тогда как для более толстых пленок данный эффект постепенно исчезает с ростом толщины кластерной пленки и не зависит от размера нанокластеров. Обсуждается возможность применения полученных структур в составе термофотоэлектрогенераторов с целью повышения их КПД.
Описание
Ключевые слова
пропускание ИК излучения , Ta2O5 , оксид тантала , нанокластерные тонкие пленки
Цитирование
Исследование оптических свойств нанокластерных пленок оксида тантала в инфракрасном диапазоне [Text]. / Бортко Д. В. [et al.] // Ядерная физика и инжиниринг. - 2023. - 14, 2. - С. 194-201