Publication: СПОСОБ СОЗДАНИЯ СЕНСОРА ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ВОДОРОДА
Дата
2022
Авторы
Фоминский, В. Ю.
Фоминский, Д. В.
Соловьев, А.
Романов, Р. И.
Руднев, И. А.
Руднев, Игорь Анатольевич
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Изобретение относится к электроизмерительной технике, в частности к датчикам измерения состава окружающей среды при высоких температурах и может быть использовано для обнаружения утечек водорода и предотвращения создания взрывоопасной воздушно-водородной смеси при использовании в водородной энергетике. Способ создания сенсора для детектирования водорода включает размещение образца из 4H-SiC в вакуумной камере, создание вакуума с последующим нанесением пленки Ni методом импульсного лазерного осаждения с последующим отжигом образца в вакууме и охлаждением образца до комнатной температуры, поворот образца другой стороной и повторное создание вакуума, напуск рабочего газа до давления 25 Па и нагрев изделия с последующим нанесением основной пленки W18O49 методом импульсного лазерного осаждения, затем создают вакуум и наносят поверх пленки W18O49 каталитическую пленку, после чего охлаждают и извлекают образец, при этом после создания вакуума до остаточного давления 10-5 Па наносят слой Ni толщиной до 100 нм в течение времени до 10 мин, затем проводят отжиг образца при температурах 500-1000°С в течение времени не менее 30 мин с последующим охлаждением образца до комнатной температуры и поворотом образца другой стороной, после поворота образца и повторного создания вакуума поверхность образца нагревают до температуры 350-800°С и затем наносят дополнительный слой ВС3 толщиной 50-100 нм при давлении 10-5 Па методом импульсного лазерного осаждения путем лазерной абляции композитной мишени, состоящей из бора и углерода в отношении 1:3, далее напускают кислород до давления 25 Па и осаждают основную пленку W18O49 толщиной до 500 нм в течение времени до 60 мин, после чего создают вакуум и наносят каталитический слой Pd при давлении 10-5 Па толщиной до 50 нм в течение времени до 1,0 мин. Изобретение обеспечивает возможность создать сенсор, обладающий повышенной чувствительностью к водороду при температурах свыше 300°С и увеличенным сроком службы, за счет увеличения толщины чувствительной к водороду пленки и улучшения ее адгезионных свойств. 3 ил.
Описание
Патент на изобретение
Ключевые слова
Патент , Датчики , Электроизмерительной технике , Утечка водорода
Цитирование
СПОСОБ СОЗДАНИЯ СЕНСОРА ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ВОДОРОДА / Фоминский, В. Ю. [и др.].- №2021139244; Заявл. 28.12.2021.- 2022