Publication: СПОСОБ СОЗДАНИЯ СЕНСОРА ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ВОДОРОДА
| dc.contributor.author | Фоминский, В. Ю. | |
| dc.contributor.author | Фоминский, Д. В. | |
| dc.contributor.author | Соловьев, А. | |
| dc.contributor.author | Романов, Р. И. | |
| dc.contributor.author | Руднев, И. А. | |
| dc.contributor.author | Руднев, Игорь Анатольевич | |
| dc.contributor.author | Фоминский, Дмитрий Вячеславович | |
| dc.contributor.author | Соловьев, Алексей | |
| dc.contributor.author | Фоминский, Вячеслав Юрьевич | |
| dc.contributor.author | Романов, Роман Иванович | |
| dc.date.accessioned | 2025-01-23T11:54:17Z | |
| dc.date.available | 2025-01-23T11:54:17Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.description | Патент на изобретение | |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к электроизмерительной технике, в частности к датчикам измерения состава окружающей среды при высоких температурах и может быть использовано для обнаружения утечек водорода и предотвращения создания взрывоопасной воздушно-водородной смеси при использовании в водородной энергетике. Способ создания сенсора для детектирования водорода включает размещение образца из 4H-SiC в вакуумной камере, создание вакуума с последующим нанесением пленки Ni методом импульсного лазерного осаждения с последующим отжигом образца в вакууме и охлаждением образца до комнатной температуры, поворот образца другой стороной и повторное создание вакуума, напуск рабочего газа до давления 25 Па и нагрев изделия с последующим нанесением основной пленки W18O49 методом импульсного лазерного осаждения, затем создают вакуум и наносят поверх пленки W18O49 каталитическую пленку, после чего охлаждают и извлекают образец, при этом после создания вакуума до остаточного давления 10-5 Па наносят слой Ni толщиной до 100 нм в течение времени до 10 мин, затем проводят отжиг образца при температурах 500-1000°С в течение времени не менее 30 мин с последующим охлаждением образца до комнатной температуры и поворотом образца другой стороной, после поворота образца и повторного создания вакуума поверхность образца нагревают до температуры 350-800°С и затем наносят дополнительный слой ВС3 толщиной 50-100 нм при давлении 10-5 Па методом импульсного лазерного осаждения путем лазерной абляции композитной мишени, состоящей из бора и углерода в отношении 1:3, далее напускают кислород до давления 25 Па и осаждают основную пленку W18O49 толщиной до 500 нм в течение времени до 60 мин, после чего создают вакуум и наносят каталитический слой Pd при давлении 10-5 Па толщиной до 50 нм в течение времени до 1,0 мин. Изобретение обеспечивает возможность создать сенсор, обладающий повышенной чувствительностью к водороду при температурах свыше 300°С и увеличенным сроком службы, за счет увеличения толщины чувствительной к водороду пленки и улучшения ее адгезионных свойств. 3 ил. | |
| dc.identifier.citation | СПОСОБ СОЗДАНИЯ СЕНСОРА ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ВОДОРОДА / Фоминский, В. Ю. [и др.].- №2021139244; Заявл. 28.12.2021.- 2022 | |
| dc.identifier.other | RU 2783070 C1 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/30403 | |
| dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
| dc.subject | Патент | |
| dc.subject | Датчики | |
| dc.subject | Электроизмерительной технике | |
| dc.subject | Утечка водорода | |
| dc.title | СПОСОБ СОЗДАНИЯ СЕНСОРА ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ВОДОРОДА | |
| dc.type | Patent | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| relation.isAuthorOfPublication | cb1613a1-309b-4d0f-939a-87ed684d7e58 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 9ea4fed8-700b-4483-a7d8-5e6ce5101a9c | |
| relation.isAuthorOfPublication | 5055b31e-3c41-4e09-981e-73b812518598 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 852bb7e8-70ac-4cdc-a118-f1943d8a0fba | |
| relation.isAuthorOfPublication | 5955ca45-4f76-4aee-a4c1-aeb5d68abfca | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | cb1613a1-309b-4d0f-939a-87ed684d7e58 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce |