Publication:
ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМА ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ РЕАКЦИОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ ПЛАЗМОЙ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Простая страница элемента
dc.contributor.authorБЕРНТ, Д. Д.
dc.contributor.authorПОНОМАРЕНКО, В. О.
dc.contributor.authorПИСАРЕВ, А. А.
dc.contributor.authorПисарев, Александр Александрович
dc.contributor.authorБернт, Дмитрий Дмитриевич
dc.date.accessioned2025-03-14T10:34:00Z
dc.date.available2025-03-14T10:34:00Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractВ настоящее время в прикладных тонкопленочных технологиях представляют интерес покрытия, обладающие сложной развитой морфологией поверхности, и проявляющие за счет этого дополнительные специальные качества, такие как, например, поверхностная гидро- фобность/фильность или сниженное паразитное поверхностное контактное сопротивление.
dc.identifier.citationБернт Д.Д. ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМА ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ РЕАКЦИОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ ПЛАЗМОЙ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА [Teкст]. / Бернт Д.Д., Пономаренко В.О., Писарев А.А. // Взаимодействие плазмы с поверхностью: сборник научных трудов XXI конференции . - 2018. - С. 56-59
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/36672
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.subjectКонференции НИЯУ МИФИ
dc.titleИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМА ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ РЕАКЦИОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ ПЛАЗМОЙ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication50640711-2695-4229-87a1-08757c98fef2
relation.isAuthorOfPublication5ecaae62-b5c4-4cb7-8013-1ad7624cfe45
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery50640711-2695-4229-87a1-08757c98fef2
relation.isOrgUnitOfPublicationdcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscoverydcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
стр. 56-59.pdf
Size:
342.01 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции
2018_Конференция " Взаимодействие плазмы с поверхностью (ХХI ; 24-25 января 2018 г. ; Москва).