Publication:
ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМА ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ РЕАКЦИОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ ПЛАЗМОЙ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Файлы
стр. 56-59.pdf(342.01 KB)
Дата
2018
Авторы
БЕРНТ, Д. Д.
ПОНОМАРЕНКО, В. О.
ПИСАРЕВ, А. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
В настоящее время в прикладных тонкопленочных технологиях представляют интерес покрытия, обладающие сложной развитой морфологией поверхности, и проявляющие за счет этого дополнительные специальные качества, такие как, например, поверхностная гидро- фобность/фильность или сниженное паразитное поверхностное контактное сопротивление.
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
Бернт Д.Д. ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМА ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНОЙ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ РЕАКЦИОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ ПЛАЗМОЙ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА [Teкст]. / Бернт Д.Д., Пономаренко В.О., Писарев А.А. // Взаимодействие плазмы с поверхностью: сборник научных трудов XXI конференции . - 2018. - С. 56-59
URI
https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/36672
Коллекции
2018_Конференция " Взаимодействие плазмы с поверхностью (ХХI ; 24-25 января 2018 г. ; Москва).