Publication: ПРИМЕНЕНИЕ АВТОКОЛЕБАТЕЛЬНОГО ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО РАЗРЯДА ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ПЫЛЕВЫЕ ЧАСТИЦЫ
Дата
2015
Авторы
Коваль, О. А.
Визгалов, И. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
The use of high voltage auto-oscillatory pulse, generated in the collector circuit of the beam-plasma system PR-2, to control the surface potential of the dust particles, and hence the energy of ion implantation is discussed in this paper. A distinctive feature of the proposed method is the use only of a relatively low voltage and DC power sources. The evolution of the plasma-surface charge exchange instability in the collector chain is accompanied by pulsed injection of high energy electrons. Due to their spatial and temporal compression it is possible to charge dust particles very rapidly. So, we try to transform the collector plate high-voltage pulses into the potential pulses of macro particles.
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
Коваль О. А. ПРИМЕНЕНИЕ АВТОКОЛЕБАТЕЛЬНОГО ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО РАЗРЯДА ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ПЫЛЕВЫЕ ЧАСТИЦЫ [Text. ] / Коваль О. А., Визгалов И. В. // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2015»: труды XXII Международной конференции Том 1. - 2015. - С. 334-337