Publication:
ПРИМЕНЕНИЕ АВТОКОЛЕБАТЕЛЬНОГО ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО РАЗРЯДА ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ПЫЛЕВЫЕ ЧАСТИЦЫ

Простая страница элемента
dc.contributor.authorКоваль, О. А.
dc.contributor.authorВизгалов, И. В.
dc.date.accessioned2024-11-27T12:17:05Z
dc.date.available2024-11-27T12:17:05Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractThe use of high voltage auto-oscillatory pulse, generated in the collector circuit of the beam-plasma system PR-2, to control the surface potential of the dust particles, and hence the energy of ion implantation is discussed in this paper. A distinctive feature of the proposed method is the use only of a relatively low voltage and DC power sources. The evolution of the plasma-surface charge exchange instability in the collector chain is accompanied by pulsed injection of high energy electrons. Due to their spatial and temporal compression it is possible to charge dust particles very rapidly. So, we try to transform the collector plate high-voltage pulses into the potential pulses of macro particles.
dc.identifier.citationКоваль О. А. ПРИМЕНЕНИЕ АВТОКОЛЕБАТЕЛЬНОГО ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО РАЗРЯДА ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ПЫЛЕВЫЕ ЧАСТИЦЫ [Text. ] / Коваль О. А., Визгалов И. В. // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2015»: труды XXII Международной конференции Том 1. - 2015. - С. 334-337
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/22739
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.subjectКонференции НИЯУ МИФИ
dc.titleПРИМЕНЕНИЕ АВТОКОЛЕБАТЕЛЬНОГО ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО РАЗРЯДА ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ПЫЛЕВЫЕ ЧАСТИЦЫ
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
стр. 334-337.pdf
Size:
244.14 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции
2015_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)