Publication:
Perspective technology for low-scale production of SMD MOX gas sensors

Дата
2019
Авторы
Samotaev, N. N.
Oblov, K. Y.
Ivanova, A. V.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике
Институт ИНТЭЛ занимается научной деятельностью и подготовкой специалистов в области исследования физических принципов, проектирования и разработки технологий создания компонентной базы электроники гражданского и специального назначения, а также построения современных приборов на её основе. ​Наша основная цель – это создание и развитие научно-образовательного центра мирового уровня в области наноструктурных материалов и устройств электроники, спинтроники, фотоники, а также создание эффективной инновационной среды в области СВЧ-электронной и радиационно-стойкой компонентной базы, источников ТГц излучения, ионно-кластерных технологий материалов.​
Выпуск журнала
Аннотация
© 2019 Published under licence by IOP Publishing Ltd. The article discusses technological and economic aspects of small-scale production of gas MOX sensors. The main technical factors affecting the use of sensors in various applications are described. The perspective laser micro-milling technology for ceramic MEMS producing of microhotplate and SMD package for the MOX sensor is discussed.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Samotaev, N. N. Perspective technology for low-scale production of SMD MOX gas sensors / Samotaev, N.N., Oblov, K.Y., Ivanova, A.V. // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2019. - 498. - № 1. - 10.1088/1757-899X/498/1/012034
URI
https://www.doi.org/10.1088/1757-899X/498/1/012034
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85065558516&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000472784800034
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/17970
Коллекции
Публикации