Publication:
ДИНАМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИОННОГО ПЕРЕМЕШИВАНИЯ В МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМАХ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ С ШИРОКИМ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИМ СПЕКТРОМ

Простая страница элемента
dc.contributor.authorВолков, Н. В.
dc.contributor.authorЯкуткина, Т. В.
dc.contributor.authorОлейников, И. В.
dc.contributor.authorСысоева, Н. В.
dc.date.accessioned2024-11-29T08:44:38Z
dc.date.available2024-11-29T08:44:38Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractIn the present work, the aim is to optimize the process of modifying the surface layers of materials under irradiation by an ion beam of He+ and Ar+ with wide energy spectrum (ses). The analysis of the applicability of several models describing the dynamics of the sputtering process and implantation under the irradiation of the ses-beams.
dc.identifier.citationДИНАМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИОННОГО ПЕРЕМЕШИВАНИЯ В МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМАХ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ С ШИРОКИМ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИМ СПЕКТРОМ [Text.] / Волков Н. В. [и др.] // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2015»: труды XXII Международной конференции Том 3. - 2015. -С. 72-75
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/23415
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.subjectКонференции НИЯУ МИФИ
dc.titleДИНАМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИОННОГО ПЕРЕМЕШИВАНИЯ В МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМАХ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ С ШИРОКИМ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИМ СПЕКТРОМ
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
стр. 72-75.pdf
Size:
360.56 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции
2015_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)