Publication: ДИНАМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИОННОГО ПЕРЕМЕШИВАНИЯ В МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМАХ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ С ШИРОКИМ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИМ СПЕКТРОМ
Дата
2015
Авторы
Волков, Н. В.
Якуткина, Т. В.
Олейников, И. В.
Сысоева, Н. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
In the present work, the aim is to optimize the process of modifying the surface layers of materials under irradiation by an ion beam of He+ and Ar+ with wide energy spectrum (ses). The analysis of the applicability of several models describing the dynamics of the sputtering process and implantation under the irradiation of the ses-beams.
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
ДИНАМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИОННОГО ПЕРЕМЕШИВАНИЯ В МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМАХ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ПУЧКОВ ИОНОВ С ШИРОКИМ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИМ СПЕКТРОМ [Text.] / Волков Н. В. [и др.] // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2015»: труды XXII Международной конференции Том 3. - 2015. -С. 72-75