Publication: ОСОБЕННОСТИ ПРЯМОЙ ЛАЗЕРНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ АЛЮМОНИТРИДНОЙ КЕРАМИКИ
Дата
2024
Авторы
СВИРИДОВА, А. А.
ЩЕКИН, А. С.
ПЕТРОВСКИЙ, В. Н.
ИВАНОВ, А. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Проведено исследование влияния параметров наносекундного с длиной волны λ=1,064 мкм и λ=0,355 мкм, а также фемтосекундного с длиной волны λ=1,030 мкм импульсного лазерного излучения на качество металлизированной поверхности и степень металлизации керамики AlN для формирования проводящего слоя с наименьшим сопротивлением. Проанализированы зависимости сопротивления и шероховатости поверхности полученных структур от плотности энергии, длительности и перекрытия импульсов наносекундного излучения инфракрасного диапазона. Проведено сравнение характеристик проводящего слоя при прямой металлизации лазерным излучением с разной длительностью импульсов и длиной волны. Эксперименты проводились в воздушной среде.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
ОСОБЕННОСТИ ПРЯМОЙ ЛАЗЕРНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ АЛЮМОНИТРИДНОЙ КЕРАМИКИ / СВИРИДОВА А.А. [и др.] // Сборник научных трудов X Международной конференции. Москва, ЛаПлаз-2024. - 2024. - С. 87