Publication: УМЕНЬШЕНИЕ ДЕФЕКТНОСТИ НАНОКРИСТАЛЛИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ ПОСЛЕ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ОДНОВРЕМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ
| dc.contributor.author | Рогов, А. В. | |
| dc.contributor.author | Капустин, Ю. В. | |
| dc.contributor.author | Мартыненко, Ю. В. | |
| dc.contributor.author | Мартыненко, Юрий Владимирович | |
| dc.date.accessioned | 2024-11-28T09:16:15Z | |
| dc.date.available | 2024-11-28T09:16:15Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.description.abstract | Two types of structural defects of Mo coatings deposited on the polished Mo polycrystalline substrates were found. Firstly small (~0.1 μm) crystallites with different orientations and sizes are formed on different substrate grains. Secondly many large (~1 μm) inclusions appear on the coating surface. Preliminary buffer layer created in regime of ion sputtering with simultaneous magnetron deposition allows to eliminate the both kind of defects. А theoretical model of the phenomena was developed. | |
| dc.identifier.citation | Рогов А. В. УМЕНЬШЕНИЕ ДЕФЕКТНОСТИ НАНОКРИСТАЛЛИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ ПОСЛЕ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ОДНОВРЕМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ [Text.] / Рогов А. В., Капустин Ю. В., Мартыненко Ю. В. // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2015»: труды XXII Международной конференции Том 2. - 2015. - С. 179-182 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/23401 | |
| dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
| dc.subject | Конференции НИЯУ МИФИ | |
| dc.title | УМЕНЬШЕНИЕ ДЕФЕКТНОСТИ НАНОКРИСТАЛЛИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ ПОСЛЕ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ОДНОВРЕМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ | |
| dc.type | Article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| relation.isAuthorOfPublication | afa384c7-50a4-41c3-b865-bbfad4ac3dfa | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | afa384c7-50a4-41c3-b865-bbfad4ac3dfa | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce |