Publication:
УМЕНЬШЕНИЕ ДЕФЕКТНОСТИ НАНОКРИСТАЛЛИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ ПОСЛЕ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ОДНОВРЕМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ

Файлы
стр. 179-182.pdf(902.36 KB)
Дата
2015
Авторы
Рогов, А. В.
Капустин, Ю. В.
Мартыненко, Ю. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
Two types of structural defects of Mo coatings deposited on the polished Mo polycrystalline substrates were found. Firstly small (~0.1 μm) crystallites with different orientations and sizes are formed on different substrate grains. Secondly many large (~1 μm) inclusions appear on the coating surface. Preliminary buffer layer created in regime of ion sputtering with simultaneous magnetron deposition allows to eliminate the both kind of defects. А theoretical model of the phenomena was developed.
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
Рогов А. В. УМЕНЬШЕНИЕ ДЕФЕКТНОСТИ НАНОКРИСТАЛЛИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ ПОСЛЕ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ОДНОВРЕМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ [Text.] / Рогов А. В., Капустин Ю. В., Мартыненко Ю. В. // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2015»: труды XXII Международной конференции Том 2. - 2015. - С. 179-182
URI
https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/23401
Коллекции
2015_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)