Publication: Сравнительное исследование состава и структуры мишени-катода (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr и покрытий, получаемых с их использованием методами DCMS И HIPIMS
Дата
2024
Авторы
Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
Сытченко, А. Д.
Потанин, А. Ю.
Рупасов, С. И.
Швындина, Н. В.
Левашов, Е. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Настоящая работа посвящена получению керамической мишени (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr методом горячего прессования продуктов самораспространяющегося высокотемпературного синтеза и осаждению покрытий в системе Zr–Si–Mo–B методами магнетронного распыления на постоянном токе и высокомощного импульсного магнетронного распыления. Проведены исследования состава и структуры исходных порошковых смесей, СВС-продуктов, двухслойной функционально-градиентной мишени и осажденных при ее распылении покрытий. Показано, что разработанная мишень (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr может успешно применяться для получения покрытий с плотной однородной бездефектной структурой, в том числе при высоких энергетических режимах распыления, пиковом токе 50 А и пиковой мощности 50 кВт.
Описание
Ключевые слова
мишени и покрытия , HIPIMS , магнетронное распыление , горячее прессование , самораспространяющийся высокотемпературный синтез , дисилициды циркония и молибдена , состав и структура
Цитирование
Сравнительное исследование состава и структуры мишени-катода (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr и покрытий, получаемых с их использованием методами DCMS И HIPIMS [Text]. / Ф. В. Кирюханцев-Корнеевa и др..// Ядерная физика и инжиниринг. - 2024. - 15, 2. - С. 109–115