Publication:
Сравнительное исследование состава и структуры мишени-катода (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr и покрытий, получаемых с их использованием методами DCMS И HIPIMS

Простая страница элемента
creativeworkseries.issn2079-5629 (Print)
dc.contributor.authorКирюханцев-Корнеев, Ф. В.
dc.contributor.authorСытченко, А. Д.
dc.contributor.authorПотанин, А. Ю.
dc.contributor.authorРупасов, С. И.
dc.contributor.authorШвындина, Н. В.
dc.contributor.authorЛевашов, Е. А.
dc.date.accessioned2024-10-24T10:36:27Z
dc.date.available2024-10-24T10:36:27Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractНастоящая работа посвящена получению керамической мишени (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr методом горячего прессования продуктов самораспространяющегося высокотемпературного синтеза и осаждению покрытий в системе Zr–Si–Mo–B методами магнетронного распыления на постоянном токе и высокомощного импульсного магнетронного распыления. Проведены исследования состава и структуры исходных порошковых смесей, СВС-продуктов, двухслойной функционально-градиентной мишени и осажденных при ее распылении покрытий. Показано, что разработанная мишень (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr может успешно применяться для получения покрытий с плотной однородной бездефектной структурой, в том числе при высоких энергетических режимах распыления, пиковом токе 50 А и пиковой мощности 50 кВт.
dc.identifier.citationСравнительное исследование состава и структуры мишени-катода (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr и покрытий, получаемых с их использованием методами DCMS И HIPIMS [Text]. / Ф. В. Кирюханцев-Корнеевa и др..// Ядерная физика и инжиниринг. - 2024. - 15, 2. - С. 109–115
dc.identifier.doi10.56304/s207956292301013x
dc.identifier.issn2079-5629
dc.identifier.urihttps://elibrary.ru/item.asp?id=67250854
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/15765
dc.relation.ispartofЯдерная физика и инжиниринг
dc.subjectмишени и покрытия
dc.subjectHIPIMS
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.subjectгорячее прессование
dc.subjectсамораспространяющийся высокотемпературный синтез
dc.subjectдисилициды циркония и молибдена
dc.subjectсостав и структура
dc.titleСравнительное исследование состава и структуры мишени-катода (ZrSi2–ZrB2–MoSi2)/Cr и покрытий, получаемых с их использованием методами DCMS И HIPIMS
dc.typejournal-article
dspace.entity.typePublication
oaire.citation.issue2
oaire.citation.volume15
relation.isJournalIssueOfPublication43f1a59c-f1ab-4500-83c2-cdac6f082e26
relation.isJournalIssueOfPublication.latestForDiscovery43f1a59c-f1ab-4500-83c2-cdac6f082e26
relation.isJournalOfPublication95520e8c-f0fa-4c2d-b12a-cd92b0a708a0
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
elibrary_67250854_99421517.pdf
Size:
5.86 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции