Персона: Каргин, Николай Иванович
Email Address
Birth Date
Научные группы
Организационные подразделения
Статус
Фамилия
Имя
Имя
Результаты поиска
ЧИСЛЕННАЯ МОДЕЛЬ ВРЕМЯПРОЛЕТНОГО АНАЛИЗАТОРА ДЛЯ ПУЧКА КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ Ar
2019, Бакун, А. Д., Гусев, А. С., Каргин, Н. И., Колодко, Д. В., Рындя, С. М., Сигловая, Н. В., Агейченков, Д. Г., Гусев, Александр Сергеевич, Колодко, Добрыня Вячеславич, Рындя, Сергей Михайлович, Каргин, Николай Иванович, Бакун, Алексей Дмитриевич, Сигловая, Наталия Владимировна
Polishing with cluster ions makes it possible to obtain nanorelief on various materials. Often in such installations, the ion mass distribution is not known reliably. This paper presents the results of a time-of-flight mass analyzer simulation. The time-of-flight analyzer will be used for separation of cluster ions on the Exogenesis nAccel 100 unit.
АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ИОННО-КЛАСТЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ СТЕКЛОКЕРАМИКИ МЕТОДОМ ФЛИККЕР- ШУМОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
2017, Бакун, А. Д., Гусев, А. С., Каргин, Н. И., Матющенко, И. А., Тимашев, С. Ф., Каргин, Николай Иванович, Гусев, Александр Сергеевич, Тимашев, Сергей Федорович, Бакун, Алексей Дмитриевич
A method of parameterization of supersmooth surfaces used in micro- and nanoelectronics as substrates and light-reflecting elements is proposed. The method is based on the flicker-noise spectroscopy (FNS) as the general phenomenological approach to extracting information from the chaotic temporal or spatial signals. The glass-ceramic samples were processed by cluster-ion beams and their topology was investigated by atomic force microscopy before and after treatment. It is established that gas cluster ion beams processing of glass ceramics leads to angstrom-level surface roughness.