Publication: ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ ОКСИДА ТИТАНА РАСПЫЛЕНИЕМ КЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ В ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА И ИХ СВОЙСТВА
| dc.contributor.author | БЕРНТ, Д. Д. | |
| dc.contributor.author | МАЛАНИЧЕВ, С. А. | |
| dc.contributor.author | ТРОШКИНА, И. Д. | |
| dc.contributor.author | ПИСАРЕВ, А. А. | |
| dc.contributor.author | Писарев, Александр Александрович | |
| dc.contributor.author | Бернт, Дмитрий Дмитриевич | |
| dc.date.accessioned | 2025-03-17T09:39:42Z | |
| dc.date.available | 2025-03-17T09:39:42Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.description.abstract | В современных прикладных тонкопленочных технологиях активно используется осаждение группы материалов, совокупно именуемых TCO – прозрачных токопроводящих оксидов (transparent conductive oxides). Являющиеся, как правило, проводниками n-типа, данные материалы обладают проводимостью, сравнимой с металлической. Так, при толщине слоя в примерно 200-300 нм можно ожидать достижения величины поверхностного сопротивления слоя меньше 10 Ом/□. Одновременно с этим, благодаря большой ширине запрещенной зоны (более 3 эВ), тонкопленочные покрытия данных материалов демонстрируют высокий уровень прозрачности по отношению к электромагнитному излучению видимых длин волн. Благодаря сочетанию высокой прозрачности и проводимости, TCO-материалы используется в производстве прозрачных электродов жидкокристаллических экранов, органических светодиодов и сенсорных экранов. Кроме того, они применяются в фотовольтаике – в качестве тонкопленочных фотопреобразователей и для создания прозрачных электродов в фотоприёмниках; в теплозащитных тонкопленочных решениях, таких как низкоэмиссионные покрытия на архитектурном стекле; могут использоваться для создания проводящих покрытий на других материалах, что защищает от формирования электростатических зарядов. Наиболее активно и широко используемыми материалами из описываемой группы являются, в силу совокупности комплекса их оптоэлектрических качеств и стоимости, ITO – смешанный оксид индия-олова (indium tin oxide), TiOx – оксид титана, ZAO – оксид легированного алюминием цинка (zinc-alumina oxide) | |
| dc.identifier.citation | ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ ОКСИДА ТИТАНА РАСПЫЛЕНИЕМ КЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ В ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА И ИХ СВОЙСТВА [Teкст]. / Бернт Д.Д. [и др.] // Взаимодействие плазмы с поверхностью: сборник научных трудов XXI конференции. - 2018. - С. 116-119 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/36677 | |
| dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
| dc.subject | Конференции НИЯУ МИФИ | |
| dc.title | ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ ОКСИДА ТИТАНА РАСПЫЛЕНИЕМ КЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ В ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА И ИХ СВОЙСТВА | |
| dc.type | Article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| relation.isAuthorOfPublication | 50640711-2695-4229-87a1-08757c98fef2 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 5ecaae62-b5c4-4cb7-8013-1ad7624cfe45 | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | 50640711-2695-4229-87a1-08757c98fef2 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce |