Publication: СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ТОЧЕК В СЛУЧАЕ ИЗОТРОПНОГО ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ НОРМАЛЬНОМ ПАДЕНИИ ИОНОВ
| dc.contributor.advisor | Скачков Михаил Викторович | |
| dc.contributor.author | Шишкин, И. В. | |
| dc.date.accessioned | 2025-02-13T08:57:34Z | |
| dc.date.available | 2025-02-13T08:57:34Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.description | Уровень образования: бакалавриат; Код направления/специальности: 010400; Группа: Т08-31 | |
| dc.description.abstract | Предложена статистическая модель, которая описывает временную эволюцию функции высоты поверхности при ионном распылении. Распределение поглощаемой энергии, выделяемой в ходе этого процесса, аппроксимирована распределением Гаусса согласно теории Зигмунда о распылении аморфных мишеней. В случае изотропного ионного распыления при нормальном падении ионов получен и исследован технологически важный режим формирования точек. С использованием двумерного структурного фактора и автокорреляционной функции изучено влияние формы распределения поглощаемой энергии и величины коэффициента поверхностной диффузии на самоорганизованное формирование точечной структуры на поверхности плоской подложки. | |
| dc.identifier.citation | Шишкин, И. В. СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ТОЧЕК В СЛУЧАЕ ИЗОТРОПНОГО ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ НОРМАЛЬНОМ ПАДЕНИИ ИОНОВ : Выпускная квалификационная работа, бакалавриат, 010400 / И. В. Шишкин ; рук. работы Скачков Михаил Викторович, 2015 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/35905 | |
| dc.language | ru | ru |
| dc.subject | ВКР | |
| dc.subject | Выпускная квалификационная работа | |
| dc.title | СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ТОЧЕК В СЛУЧАЕ ИЗОТРОПНОГО ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ НОРМАЛЬНОМ ПАДЕНИИ ИОНОВ | |
| dc.type | ВКР | |
| dspace.entity.type | Publication |