Publication: СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ТОЧЕК В СЛУЧАЕ ИЗОТРОПНОГО ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ НОРМАЛЬНОМ ПАДЕНИИ ИОНОВ
Дата
2015
Авторы
Шишкин, И. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Предложена статистическая модель, которая описывает временную эволюцию функции высоты поверхности при ионном распылении. Распределение поглощаемой энергии, выделяемой в ходе этого процесса, аппроксимирована распределением Гаусса согласно теории Зигмунда о распылении аморфных мишеней. В случае изотропного ионного распыления при нормальном падении ионов получен и исследован технологически важный режим формирования точек. С использованием двумерного структурного фактора и автокорреляционной функции изучено влияние формы распределения поглощаемой энергии и величины коэффициента поверхностной диффузии на самоорганизованное формирование точечной структуры на поверхности плоской подложки.
Описание
Уровень образования: бакалавриат; Код направления/специальности: 010400; Группа: Т08-31
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Шишкин, И. В. СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ТОЧЕК В СЛУЧАЕ ИЗОТРОПНОГО ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ НОРМАЛЬНОМ ПАДЕНИИ ИОНОВ : Выпускная квалификационная работа, бакалавриат, 010400 / И. В. Шишкин ; рук. работы Скачков Михаил Викторович, 2015