Publication: Гетеродинная лазерная интерферометрия для метрологического обеспечения измерений перемещений в сканирующей зондовой микроскопии
Дата
2017
Авторы
Казиева, Т. В.
Казиева, Татьяна Вадимовна
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Описание
автореф. дис. ... кандидата физ.-мат. наук : 01.04.21
Ключевые слова
Автор МИФИ , Лазерные интерферометры , Зондовая микроскопия , Зонды нанотвердометров , Датчики , 01.04.21 - лазерная физика
Цитирование
Казиева, Т. В. Гетеродинная лазерная интерферометрия для метрологического обеспечения измерений перемещений в сканирующей зондовой микроскопии : автореф. дис. ... кандидата физ.-мат. наук : 01.04.21 / Т. В. Казиева ; рук. работы А. П. Кузнецов ; [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т "МИФИ"]. - Москва : НИЯУ МИФИ, 2017. - 27 с.