Publication: СПОСОБ СОЗДАНИЯ ВЫСОКОАСПЕКТНЫХ ПРОТЯЖЕННЫХ СТРУКТУР С ДИАМЕТРАМИ СУБМИКРОННЫХ РАЗМЕРОВ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОМ КРИСТАЛЛЕ ФЕМТОСЕКУНДНЫМИ РЕНТГЕНОВСКИМИ ИМПУЛЬСАМИ
dc.contributor.author | Пикуз, С. А. | |
dc.contributor.author | Макаров, С. С. | |
dc.contributor.author | Пикуз, Т. А. | |
dc.contributor.author | Кузнецов, А. П. | |
dc.contributor.author | Кузнецов, Андрей Петрович | |
dc.date.accessioned | 2024-11-22T12:05:40Z | |
dc.date.available | 2024-11-22T12:05:40Z | |
dc.date.issued | 2024 | |
dc.description | Патент на изобретение | |
dc.description.abstract | Изобретение относится к нанотехнологиям и микроструктурным технологиям. Сущность изобретения заключается в том, что способ создания протяженных полостей с диаметрами субмикронных размеров в кристалле LiF с помощью когерентных рентгеновских импульсов заключается в прошивке отверстия в кристалле LiF лазерным методом за счет наведения фокального пятна на поверхность кристалла и перемещения этого пятна с микронной точностью по поверхности кристалла, при этом для получения глубоких полостей с диаметрами субмикронных размеров в кристалле LiF используют когерентные фемтосекундные (20 фс) рентгеновские импульсы с длиной волны фотонов λ, равной 1,3776 Å, при которой длина затухания в структуре LiF равна 475 мкм. Изобретение обеспечивает возможность упрощения способа создания протяженных полостей субмикронного диаметра с аспектным соотношением порядка 1:1800 в кристалле LiF для создания фотонных кристаллов и фотонных волноводов. 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 1 пр. | |
dc.identifier.citation | СПОСОБ СОЗДАНИЯ ВЫСОКОАСПЕКТНЫХ ПРОТЯЖЕННЫХ СТРУКТУР С ДИАМЕТРАМИ СУБМИКРОННЫХ РАЗМЕРОВ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОМ КРИСТАЛЛЕ ФЕМТОСЕКУНДНЫМИ РЕНТГЕНОВСКИМИ ИМПУЛЬСАМИ / Пикуз С. А. [и др.]. - № 2023127844 ; Заявл. 30.10.2023. - 2024 | |
dc.identifier.other | RU 2815615 C1 | |
dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/19777 | |
dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
dc.subject | Лазеры | |
dc.subject | Микроструктурные технологии | |
dc.subject | Нанотехнологии | |
dc.subject | Патент | |
dc.title | СПОСОБ СОЗДАНИЯ ВЫСОКОАСПЕКТНЫХ ПРОТЯЖЕННЫХ СТРУКТУР С ДИАМЕТРАМИ СУБМИКРОННЫХ РАЗМЕРОВ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОМ КРИСТАЛЛЕ ФЕМТОСЕКУНДНЫМИ РЕНТГЕНОВСКИМИ ИМПУЛЬСАМИ | |
dc.type | Patent | |
dspace.entity.type | Publication | |
relation.isAuthorOfPublication | 03070330-f326-43d0-baa3-11c83f1811bb | |
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | 03070330-f326-43d0-baa3-11c83f1811bb | |
relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce |