Publication: МЕТАЛЛИЗАЦИЯ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ НАНОСЕКУНДНЫМ ИМПУЛЬСНЫМ ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ
Дата
2025
Авторы
Свиридова, А. А.
Щекин, А. С.
Петровский, В. Н.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Представлено исследование влияния параметров наносекундного лазерного излучения на качество поверхности и степень металлизации алюмонитридной керамики для формирования алюминиевого проводящего слоя с наименьшим сопротивлением. Проанализированы зависимости сопротивления, шероховатости поверхности и толщины полученного проводящего слоя от плотности энергии, длительности и перекрытия импульсов. Получена температурная зависимость сопротивления при охлаждении до температуры жидкого азота, проведён анализ нанесенного методом магнетронного напыления медного покрытия и исследована адгезионная прочность соединений медного, алюминиевого слоя и подложки AlN с помощью «скретч-тестера».
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Свиридова А. А. МЕТАЛЛИЗАЦИЯ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ НАНОСЕКУНДНЫМ ИМПУЛЬСНЫМ ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ / Свиридова А. А., Щекин А. С., Петровский В. Н. // Лазерные, плазменные исследования и технологии - ЛаПлаз-2025: Сборник научных трудов XI Международной конференции . - 2025. - С. 75