Publication: Размерная зависимость электронных свойств нанокластеров тантала
Дата
2024
Авторы
Шилов, В. А.
Балахнев, К. М.
Борисюк, П. В.
Бортко, Д. В.
Васильев, О. С.
Journal Title
Ядерная физика и инжиниринг
Journal ISSN
Volume Title
Ядерная физика и инжиниринг
Издатель
Аннотация
Представлены результаты исследования электронных состояний нанокластеров тантала на кремниевой подложке методом сканирующей туннельной спектроскопии. Нанокластеры получены методом кластерного осаждения из газовой фазы с помощью магнетронного распыления мишени тантала. Формирование кластеров производилось с использованием кластерного источника Nanogen-50 (Mantis Deposition) с квадрупольным масс-фильтром, интегрированным в камеру препарирования сверхвысоковакуумной системы Omicron Multiprobe MXPS VT AFM-25. Установлено, что для сферических нанокластеров разных размеров туннельный ток существенно различается, измеренная дифференциальная вольтамперная характеристика нанокластеров вблизи энергии Ферми носит немонотонный характер, что может свидетельствовать об изменении плотности электронных состояний вблизи энергии Ферми. Это изменение туннельной проводимости нанокластеров в зависимости от их размера свидетельствует о наличии перехода металл-неметалл в нанокластерах металлов на поверхности полупроводников при уменьшении размера кластеров.
Описание
Ключевые слова
СТС , оксид тантала , тонкие пленки , нанокластерые , наночастицы , Ta2O5 , СТМ
Цитирование
Размерная зависимость электронных свойств нанокластеров тантала [Text]. / Шилов В. А. [et al.] // Ядерная физика и инжиниринг. - 2024. - 15, 1. - С. 98-104