Publication: Изучение влияния вариаций технологических параметров полупроводниковых структур на их радиационную стойкость методами эмиссионной микроскопии с лазерным возбуждением и сканирующей лазерной дефектоскопии
| dc.contributor.advisor | Шеляков Александр Васильевич | |
| dc.contributor.author | Настулявичус, А. А. | |
| dc.date.accessioned | 2025-02-13T07:48:05Z | |
| dc.date.available | 2025-02-13T07:48:05Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.description | Уровень образования: магистратура; Код направления/специальности: 14.04.02; Группа: М04-70 | |
| dc.identifier.citation | Настулявичус, А. А. Изучение влияния вариаций технологических параметров полупроводниковых структур на их радиационную стойкость методами эмиссионной микроскопии с лазерным возбуждением и сканирующей лазерной дефектоскопии : Выпускная квалификационная работа, магистратура, 14.04.02 / А. А. Настулявичус ; рук. работы Шеляков Александр Васильевич, 2016 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/34970 | |
| dc.language | ru | ru |
| dc.subject | ВКР | |
| dc.subject | Выпускная квалификационная работа | |
| dc.title | Изучение влияния вариаций технологических параметров полупроводниковых структур на их радиационную стойкость методами эмиссионной микроскопии с лазерным возбуждением и сканирующей лазерной дефектоскопии | |
| dc.type | ВКР | |
| dspace.entity.type | Publication |