Publication: Изучение влияния вариаций технологических параметров полупроводниковых структур на их радиационную стойкость методами эмиссионной микроскопии с лазерным возбуждением и сканирующей лазерной дефектоскопии
Дата
2016
Авторы
Настулявичус, А. А.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Описание
Уровень образования: магистратура; Код направления/специальности: 14.04.02; Группа: М04-70
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Настулявичус, А. А. Изучение влияния вариаций технологических параметров полупроводниковых структур на их радиационную стойкость методами эмиссионной микроскопии с лазерным возбуждением и сканирующей лазерной дефектоскопии : Выпускная квалификационная работа, магистратура, 14.04.02 / А. А. Настулявичус ; рук. работы Шеляков Александр Васильевич, 2016