Publication:
ПОИСК ОПТИМАЛЬНОЙ КОНСТРУКЦИИ МЕТАМОРФНОГО БУФЕРА ДЛЯ МНЕМТ НАНОГЕТЕРОСТРУКТУР In0.68Al0.32As/In0.72Ga0.28As/GaAs

Простая страница элемента
dc.contributor.authorГалиев, Г. Б.
dc.contributor.authorПушкарёв, С. С.
dc.contributor.authorВасильевский, И. С.
dc.contributor.authorКванин, А. Л.
dc.contributor.authorКлимов, Е. А.
dc.contributor.authorВасильевский, Иван Сергеевич
dc.date.accessioned2024-04-25T14:45:09Z
dc.date.available2024-04-25T14:45:09Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractВ настоящее время обнаруживается тенденция вытеснения НЕМТ наногетероструктур InAlAs/InGaAs на подложках InP, являющихся базой для СВЧ электроники микроволнового диапазона, метаморфными НЕМТ (МНЕМТ) наногетероструктурами. Причина заключается в открывающейся возможности использовать более надёжные и дешёвые подложки GaAs вместо InP и выбирать нужный состав активной области. Эпитаксиально выращенные МНЕМТ наногетероструктуры характеризуются двумя важными параметрами. Первый параметр – плотность дислокаций, прорастающих в активные слои и на поверхность, – во многом определяет подвижность электронов. Второй параметр – шероховатость поверхности, имеющей характерный для метаморфных структур поперечнополосатый рельеф, эта величина влияет на успешное создание наноразмерных топологий при изготовлении МИС.
dc.identifier.citationПОИСК ОПТИМАЛЬНОЙ КОНСТРУКЦИИ МЕТАМОРФНОГО БУФЕРА ДЛЯ МНЕМТ НАНОГЕТЕРОСТРУКТУР In0.68Al0.32As/In0.72Ga0.28As/GaAs //Мокеровские чтения. Научно-практическая конференция по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники, 12−13 мая 2012 г.: тезисы докладов. М.: НИЯУ МИФИ, 2012. – с. 20-21.
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/10189
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.titleПОИСК ОПТИМАЛЬНОЙ КОНСТРУКЦИИ МЕТАМОРФНОГО БУФЕРА ДЛЯ МНЕМТ НАНОГЕТЕРОСТРУКТУР In0.68Al0.32As/In0.72Ga0.28As/GaAs
dc.typeтезисы
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication8ce84220-3c34-4278-83e7-c79be7660fe9
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery8ce84220-3c34-4278-83e7-c79be7660fe9
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
2012tes_20-21.pdf
Size:
436.64 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции
2012 г._2-я ежегодная Международная научно-практическая конференция «МОКЕРОВСКИЕ ЧТЕНИЯ»