Publication: ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК И ИХ УДАЛЕНИЕ В ЩЕЛЯХ И ЗАТЕНЕННЫХ ОТ ПЛАЗМЫ ОБЛАСТЯХ В ПРИСУТСТВИИ ВЧ-ПОЛЕЙ
| dc.contributor.author | ГУТОРОВ, К. М. | |
| dc.contributor.author | ВИЗГАЛОВ, И. В. | |
| dc.contributor.author | ПОДОЛЯКО, Ф. С. | |
| dc.contributor.author | СОРОКИН, И. А. | |
| dc.contributor.author | Сорокин, Иван Александрович | |
| dc.contributor.author | Гуторов, Константин Михайлович | |
| dc.contributor.author | Подоляко, Федор Сергеевич | |
| dc.date.accessioned | 2025-04-01T12:17:09Z | |
| dc.date.available | 2025-04-01T12:17:09Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.description.abstract | Осаждение примесей внутри камеры термоядерной установки нежелательно по нескольким причинам: это изменение свойств поверхности при напылении на нее пленок, эрозия осажденных слоев с образованием пыли, повышенный захват изотопов водорода в осажденных слоях. Часто наблюдается осаждение примесей в щелях и теневых областях первой стенки, в том числе под элементами облицовки, в технологических зазорах и т.д. Такие примеси очень сложно определять и анализировать, также затруднена и очистка подобных участков. Стимулировать повышенное накопление примесей может присутствие ВЧ полей, появляющихся в результате особенностей протекания токов в плазме [1] или генерируемых антеннами для нагрева плазмы, использующимися во многих токамаках. | |
| dc.identifier.citation | ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК И ИХ УДАЛЕНИЕ В ЩЕЛЯХ И ЗАТЕНЕННЫХ ОТ ПЛАЗМЫ ОБЛАСТЯХ В ПРИСУТСТВИИ ВЧ-ПОЛЕЙ [Текст.] / ГУТОРОВ К.М. [и др.] // Взаимодействие плазмы с поверхностью: сборник научных трудов XVIII конференции. - 2015. - C. 102-105 | |
| dc.identifier.uri | https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/36785 | |
| dc.publisher | НИЯУ МИФИ | |
| dc.subject | Конференции НИЯУ МИФИ | |
| dc.title | ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК И ИХ УДАЛЕНИЕ В ЩЕЛЯХ И ЗАТЕНЕННЫХ ОТ ПЛАЗМЫ ОБЛАСТЯХ В ПРИСУТСТВИИ ВЧ-ПОЛЕЙ | |
| dc.type | Article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| relation.isAuthorOfPublication | 58786ec3-0691-490a-ae09-d8a61c2a8d13 | |
| relation.isAuthorOfPublication | 171c6abe-f351-4ed0-b30d-b1d737731146 | |
| relation.isAuthorOfPublication | f3621cde-099d-443c-83fa-e90cebaa8f4e | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | 58786ec3-0691-490a-ae09-d8a61c2a8d13 | |
| relation.isOrgUnitOfPublication | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce | |
| relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery | dcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce |