Publication:
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК И ИХ УДАЛЕНИЕ В ЩЕЛЯХ И ЗАТЕНЕННЫХ ОТ ПЛАЗМЫ ОБЛАСТЯХ В ПРИСУТСТВИИ ВЧ-ПОЛЕЙ

dc.contributor.authorГУТОРОВ, К. М.
dc.contributor.authorВИЗГАЛОВ, И. В.
dc.contributor.authorПОДОЛЯКО, Ф. С.
dc.contributor.authorСОРОКИН, И. А.
dc.contributor.authorСорокин, Иван Александрович
dc.contributor.authorГуторов, Константин Михайлович
dc.contributor.authorПодоляко, Федор Сергеевич
dc.date.accessioned2025-04-01T12:17:09Z
dc.date.available2025-04-01T12:17:09Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractОсаждение примесей внутри камеры термоядерной установки нежелательно по нескольким причинам: это изменение свойств поверхности при напылении на нее пленок, эрозия осажденных слоев с образованием пыли, повышенный захват изотопов водорода в осажденных слоях. Часто наблюдается осаждение примесей в щелях и теневых областях первой стенки, в том числе под элементами облицовки, в технологических зазорах и т.д. Такие примеси очень сложно определять и анализировать, также затруднена и очистка подобных участков. Стимулировать повышенное накопление примесей может присутствие ВЧ полей, появляющихся в результате особенностей протекания токов в плазме [1] или генерируемых антеннами для нагрева плазмы, использующимися во многих токамаках.
dc.identifier.citationОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК И ИХ УДАЛЕНИЕ В ЩЕЛЯХ И ЗАТЕНЕННЫХ ОТ ПЛАЗМЫ ОБЛАСТЯХ В ПРИСУТСТВИИ ВЧ-ПОЛЕЙ [Текст.] / ГУТОРОВ К.М. [и др.] // Взаимодействие плазмы с поверхностью: сборник научных трудов XVIII конференции. - 2015. - C. 102-105
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/36785
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.subjectКонференции НИЯУ МИФИ
dc.titleОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК И ИХ УДАЛЕНИЕ В ЩЕЛЯХ И ЗАТЕНЕННЫХ ОТ ПЛАЗМЫ ОБЛАСТЯХ В ПРИСУТСТВИИ ВЧ-ПОЛЕЙ
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublication58786ec3-0691-490a-ae09-d8a61c2a8d13
relation.isAuthorOfPublication171c6abe-f351-4ed0-b30d-b1d737731146
relation.isAuthorOfPublicationf3621cde-099d-443c-83fa-e90cebaa8f4e
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery58786ec3-0691-490a-ae09-d8a61c2a8d13
relation.isOrgUnitOfPublicationdcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscoverydcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Загружается...
Уменьшенное изображение
Name:
стр. 102-105.pdf
Size:
317.62 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Загружается...
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description: