Publication:
АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ИОННО-КЛАСТЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ СТЕКЛОКЕРАМИКИ МЕТОДОМ ФЛИККЕР- ШУМОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

Простая страница элемента
dc.contributor.authorБакун, А. Д.
dc.contributor.authorГусев, А. С.
dc.contributor.authorКаргин, Н. И.
dc.contributor.authorМатющенко, И. А.
dc.contributor.authorТимашев, С. Ф.
dc.contributor.authorКаргин, Николай Иванович
dc.contributor.authorГусев, Александр Сергеевич
dc.contributor.authorТимашев, Сергей Федорович
dc.contributor.authorБакун, Алексей Дмитриевич
dc.date.accessioned2024-11-19T08:33:32Z
dc.date.available2024-11-19T08:33:32Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractA method of parameterization of supersmooth surfaces used in micro- and nanoelectronics as substrates and light-reflecting elements is proposed. The method is based on the flicker-noise spectroscopy (FNS) as the general phenomenological approach to extracting information from the chaotic temporal or spatial signals. The glass-ceramic samples were processed by cluster-ion beams and their topology was investigated by atomic force microscopy before and after treatment. It is established that gas cluster ion beams processing of glass ceramics leads to angstrom-level surface roughness.
dc.identifier.citationАНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ИОННО-КЛАСТЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ СТЕКЛОКЕРАМИКИ МЕТОДОМ ФЛИККЕР- ШУМОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ [Text.] /Баку А. Д. [и тд.] // Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП – 2017»: труды XXIII Международной конференции Том 1. - 2017. - С.73-75
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/16367
dc.publisherНИЯУ МИФИ
dc.subjectКонференции НИЯУ МИФИ
dc.titleАНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ИОННО-КЛАСТЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НА СОСТОЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ СТЕКЛОКЕРАМИКИ МЕТОДОМ ФЛИККЕР- ШУМОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
relation.isAuthorOfPublicationb63cacca-2813-4dee-964b-26cdc4e09e74
relation.isAuthorOfPublication60ab5e92-d182-4cc4-b567-f10ff3d0acb8
relation.isAuthorOfPublication335de349-29a3-4bc6-8b5d-f553a65beaf6
relation.isAuthorOfPublication180c0217-c101-4467-9e80-79c68e713bfe
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscoveryb63cacca-2813-4dee-964b-26cdc4e09e74
relation.isOrgUnitOfPublication06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscovery06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
Файлы
Original bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
стр. 73-75.pdf
Size:
1.41 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Теперь показываю 1 - 1 из 1
Уменьшенное изображение
Name:
license.txt
Size:
3.45 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Коллекции
2017_Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП)