Publication: АНТИФРИКЦИОННЫЕ СВОЙСТВА АЛМАЗОПОДОБНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ, НАНЕСЕННЫХ НА КЕРАМИЧЕСКУЮ ПОДЛОЖКУ ВАКУУМНЫМ И РЕАКЦИОННЫМ ИМПУЛЬСНЫМ ЛАЗЕРНЫМ ОСАЖДЕНИЕМ
Файлы
Дата
2026
Авторы
ГРИЦКЕВИЧ, М. Д.
ШПРЫНОВ, И. В.
ФОМИНСКИЙ, Д. В.
ФОМИНСКИЙ, В. Ю.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Представлены результаты исследования трибологических свойств покрытий из алмазоподобного углерода, сформированных методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) на подложках из оксида кремния. Применена абляция графитовой мишени высокоэнергетическими лазерными импульсами в вакууме и в H2S, что позволило выявить влияние S и H на антифрикционные свойства и износостойкость покрытий во влажном воздухе. Приведены результаты исследования структурного и химического состояния покрытий. Установлено, что легирование серой и водородом позволяет уменьшить коэффициент трения с 0,17-0,2 до 0,09, однако при этом существенно снижается износостойкость покрытий.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
АНТИФРИКЦИОННЫЕ СВОЙСТВА АЛМАЗОПОДОБНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ, НАНЕСЕННЫХ НА КЕРАМИЧЕСКУЮ ПОДЛОЖКУ ВАКУУМНЫМ И РЕАКЦИОННЫМ ИМПУЛЬСНЫМ ЛАЗЕРНЫМ ОСАЖДЕНИЕМ / ГРИЦКЕВИЧ М. Д. [и др.] // Лазерные, плазменные исследования и технологии - ЛаПлаз-2026: сборник научных трудов XII Международной конференции. - 2026. - 2026. - С. 49