Publication:
Исследование возможностей конфокальной микроскопии и применения твердотельной иммерсионной линзы для лазерной диагностики сбоев и отказов кремниевых полупроводниковых структур с техпроцессом менее 100 нм

Простая страница элемента
dc.contributor.advisorМаврицкий, О. Б.
dc.contributor.authorУколов, Д. С.
dc.date.accessioned2025-02-12T14:35:30Z
dc.date.available2025-02-12T14:35:30Z
dc.date.issued2017
dc.descriptionУровень образования: бакалавриат; Код направления/специальности: 14.03.02; Группа: Б13-С02
dc.identifier.citationУколов, Д. С. Исследование возможностей конфокальной микроскопии и применения твердотельной иммерсионной линзы для лазерной диагностики сбоев и отказов кремниевых полупроводниковых структур с техпроцессом менее 100 нм : Выпускная квалификационная работа, бакалавриат, 14.03.02 / Д. С. Уколов ; рук. работы Маврицкий Олег Борисович, 2017
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/31304
dc.languageruru
dc.subjectВКР
dc.subjectВыпускная квалификационная работа
dc.titleИсследование возможностей конфокальной микроскопии и применения твердотельной иммерсионной линзы для лазерной диагностики сбоев и отказов кремниевых полупроводниковых структур с техпроцессом менее 100 нм
dc.typeВКР
dspace.entity.typePublication
Файлы
Коллекции
Выпускные квалификационные работы