Publication: Исследование возможностей конфокальной микроскопии и применения твердотельной иммерсионной линзы для лазерной диагностики сбоев и отказов кремниевых полупроводниковых структур с техпроцессом менее 100 нм
Дата
2017
Авторы
Уколов, Д. С.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Описание
Уровень образования: бакалавриат; Код направления/специальности: 14.03.02; Группа: Б13-С02
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Уколов, Д. С. Исследование возможностей конфокальной микроскопии и применения твердотельной иммерсионной линзы для лазерной диагностики сбоев и отказов кремниевых полупроводниковых структур с техпроцессом менее 100 нм : Выпускная квалификационная работа, бакалавриат, 14.03.02 / Д. С. Уколов ; рук. работы Маврицкий Олег Борисович, 2017