Publication: ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ ТУННЕЛЬНОГО ТОКА В ОКСИДЕ КРЕМНИЯ
Дата
2026
Авторы
Сорокин, Д. В.
Шелепин, Н. А.
Journal Title
Безопасность информационных технологий
Journal ISSN
Volume Title
Безопасность Информационных Технологий
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Исследована температурная зависимость туннельного тока МОП-конденсаторов от приложенного напряжения, описываемая формулой Фаулера-Нордгейма. Измерения проведены в диапазоне от –60°C до +130°C. Параметры A и B уравнения Фаулера–Нордгейма извлекались методом наименьших квадратов для каждой температурной точки. Установлено монотонное возрастание туннельного тока с увеличением температуры. Температурные зависимости параметров A(T) и B(T) аппроксимированы линейными функциями. Полученные аналитические выражения A(T) и B(T) могут быть интегрированы в SPICE-модель транзистора с плавающим затвором для моделирования операций программирования и стирания в расширенном температурном диапазоне.
Описание
Ключевые слова
EEPROM , SPICE , МОП-конденсатор , Уравнение Фаулера-Нордгейма , Туннельный ток
Цитирование
Сорокин, Д., Шелепин, Н. (2026). Температурная зависимость туннельного тока в оксиде кремния. Безопасность информационных технологий, 33(2), 11-17. doi: http://dx.doi.org/10.26583/bit.2026.2.02