Publication:
SIMULATION OF TARGET SURFACE CHEMICAL STATE IN A HOT-TARGET HIPIMS PROCESS МОДЕЛИРОВАНИЕ ХИМИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МИШЕНИ В СИМР С ГОРЯЧЕИ МИШЕНЬЮ

Простая страница элемента
dc.contributor.authorKaziev, A. V.
dc.contributor.authorKolodko, D. V.
dc.contributor.authorTumarkin, A. V.
dc.contributor.authorKharkov, M.
dc.contributor.authorLisenkov, V. Y.
dc.contributor.authorКазиев, Андрей Викторович
dc.contributor.authorКолодко, Добрыня Вячеславич
dc.contributor.authorТумаркин, Александр Владимирович
dc.contributor.authorХарьков, Максим Михайлович
dc.date.accessioned2024-12-27T11:47:49Z
dc.date.available2024-12-27T11:47:49Z
dc.date.issued2023
dc.format.extentС. 76-81
dc.identifier.citationSIMULATION OF TARGET SURFACE CHEMICAL STATE IN A HOT-TARGET HIPIMS PROCESS МОДЕЛИРОВАНИЕ ХИМИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МИШЕНИ В СИМР С ГОРЯЧЕИ МИШЕНЬЮ / Kaziev, A. V. [et al.] // ChemChemTech. - 2023. - 66. - № 12. - P. 76-81. - 10.6060/ivkkt.20236612.6879
dc.identifier.doi10.6060/ivkkt.20236612.6879
dc.identifier.urihttps://www.doi.org/10.6060/ivkkt.20236612.6879
dc.identifier.urihttps://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85177438207&origin=resultslist
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/29469
dc.relation.ispartofChemChemTech
dc.titleSIMULATION OF TARGET SURFACE CHEMICAL STATE IN A HOT-TARGET HIPIMS PROCESS МОДЕЛИРОВАНИЕ ХИМИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МИШЕНИ В СИМР С ГОРЯЧЕИ МИШЕНЬЮ
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
oaire.citation.issue12
oaire.citation.volume66
relation.isAuthorOfPublicationc70d4049-e1f0-4840-8e36-73b5eeafc0a2
relation.isAuthorOfPublicationd637fefd-25d3-4a2d-9d90-813756555eb3
relation.isAuthorOfPublicationdc983be0-d0f6-4ec3-aa50-6e90a9227b1b
relation.isAuthorOfPublication8bcb6d05-5e53-4b0c-a287-3acc05a84313
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscoveryc70d4049-e1f0-4840-8e36-73b5eeafc0a2
relation.isOrgUnitOfPublicationdcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
relation.isOrgUnitOfPublication06e1796d-4f55-4057-8d7e-bb2f3b5676f5
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscoverydcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
Файлы
Коллекции
Публикации