Publication:
Using the RGB data of bright-field optical microscopy to efficiently monitor the surface cleanliness of the active elements of semiconductor wafers in the planar production cycle

Дата
2020
Авторы
Kozyrev, A. A.
Goreeva, M. V.
Burtsev, D. N.
Eliseeva, Yu. A.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Инженерно-физический институт биомедицины
Цель ИФИБ и стратегия развития – это подготовка высококвалифицированных кадров на базе передовых исследований и разработок новых перспективных методов и материалов в области инженерно-физической биомедицины. Занятие лидерских позиций в биомедицинских технологиях XXI века и внедрение их в образовательный процесс, что отвечает решению практикоориентированной задачи мирового уровня – диагностике и терапии на клеточном уровне социально-значимых заболеваний человека.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2020 Optical Society of AmericaIt is shown that it is promising to use the RGB data of bright-field optical microscopy to efficiently monitor the surface cleanliness of the active elements of semiconductor wafers in the planar production cycle. It is demonstrated that the film thickness on a substrate surface can be determined from RGB data obtained by means of a photosensor based on a Bayer array with known spectral response. An example shows how to use it on a GaAs semiconductor wafer with metallized active gold elements. Software has been developed for channel-by-channel comparison of a discriminated region of two pictures. An algorithm is presented for obtaining micrographs that can subsequently be analyzed and compared.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Using the RGB data of bright-field optical microscopy to efficiently monitor the surface cleanliness of the active elements of semiconductor wafers in the planar production cycle / Kozyrev, A.A. [et al.] // Journal of Optical Technology (A Translation of Opticheskii Zhurnal). - 2020. - 87. - № 6. - P. 379-388. - 10.1364/JOT.87.000379
URI
https://www.doi.org/10.1364/JOT.87.000379
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85090200369&origin=resultslist
 http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=Alerting&SrcApp=Alerting&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&UT=WOS:000581266400011
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/22288
Коллекции
Публикации