Publication: Использование сегментов LaB6 при магнетронном распылении гетерофазной мишени MoSi2–MoB–ZrB2
Дата
2025
Авторы
Чударин, Ф. И.
Чертова, А. Д.
Левашов, Е. А.
Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
Отработана технология легирования жаростойких покрытий Mo–Zr–Si–B лантаном за счет использования при магнетронном распылении мишени 95% (90% MoSi2 + 10% MoB) + 5% ZrB2 с сегментами LaB6. Определено изменение ВАХ при использовании дополнительных сегментов. Обнаружено, что применение LaB6 приводит к снижению напряжения зажигания тлеющего разряда. Методом магнетронного распыления получены покрытия Mo–Zr–Si–B и Mo–La–Zr–Si–B c равномерным распределением элементов по толщине, низкой шероховатостью и малодефектной структурой. Использование сегментов LaB6 способствует аморфизации покрытий, а также приводит к повышению их жаростойкости при нагреве на воздухе до 1500°С.
Описание
Ключевые слова
жаростойкость , ZrB2 , MoB , MoSi2 , LaB6 , покрытия , магнетронное распыление
Цитирование
Использование сегментов LaB6 при магнетронном распылении гетерофазной мишени MoSi2–MoB–ZrB2 [Text]. / Чударин Ф. И. [и др.] // Ядерная физика и инжиниринг. - 2025. - 16, 1. - С. 38–42