Publication:
METHODS AND RESULTS OF ELECTROCHEMICAL INVESTIGATION OF THE RELIEF OF FILMS DEPOSITED BY MAGNETRON SPUTTERING МЕТОДИКИ И РЕЗУЛЬТАТЫ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ИССЛЕДОВАНИЯ РЕЛЬЕФА ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ ПУТЕМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Простая страница элемента
dc.contributor.authorObrezkov, O. I.
dc.contributor.authorMartynenko, Yu. V.
dc.contributor.authorNagel, M. Yu.
dc.contributor.authorShutev, O. L.
dc.contributor.authorМартыненко, Юрий Владимирович
dc.date.accessioned2024-12-04T13:58:56Z
dc.date.available2024-12-04T13:58:56Z
dc.date.issued2024
dc.format.extentС. 98-110
dc.identifier.citationMETHODS AND RESULTS OF ELECTROCHEMICAL INVESTIGATION OF THE RELIEF OF FILMS DEPOSITED BY MAGNETRON SPUTTERING МЕТОДИКИ И РЕЗУЛЬТАТЫ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ИССЛЕДОВАНИЯ РЕЛЬЕФА ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ ПУТЕМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ / Obrezkov, O.I. [et al.] // Problems of Atomic Science and Technology, Series Thermonuclear Fusion. - 2024. - 47. - № 2. - P. 98-110. - 10.21517/0202-3822-2024-47-2-98-110
dc.identifier.doi10.21517/0202-3822-2024-47-2-98-110
dc.identifier.urihttps://www.doi.org/10.21517/0202-3822-2024-47-2-98-110
dc.identifier.urihttps://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85203599066&origin=resultslist
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/26310
dc.relation.ispartofProblems of Atomic Science and Technology, Series Thermonuclear Fusion
dc.titleMETHODS AND RESULTS OF ELECTROCHEMICAL INVESTIGATION OF THE RELIEF OF FILMS DEPOSITED BY MAGNETRON SPUTTERING МЕТОДИКИ И РЕЗУЛЬТАТЫ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ИССЛЕДОВАНИЯ РЕЛЬЕФА ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ ПУТЕМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
dc.typeArticle
dspace.entity.typePublication
oaire.citation.issue2
oaire.citation.volume47
relation.isAuthorOfPublicationafa384c7-50a4-41c3-b865-bbfad4ac3dfa
relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscoveryafa384c7-50a4-41c3-b865-bbfad4ac3dfa
relation.isOrgUnitOfPublicationdcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscoverydcdb137c-0528-46a5-841b-780227a67cce
Файлы
Коллекции
Публикации