Publication:
METHODS AND RESULTS OF ELECTROCHEMICAL INVESTIGATION OF THE RELIEF OF FILMS DEPOSITED BY MAGNETRON SPUTTERING МЕТОДИКИ И РЕЗУЛЬТАТЫ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ИССЛЕДОВАНИЯ РЕЛЬЕФА ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ ПУТЕМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Дата
2024
Авторы
Obrezkov, O. I.
Martynenko, Yu. V.
Nagel, M. Yu.
Shutev, O. L.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
OrgUnit Logo
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
Описание
Ключевые слова
Цитирование
METHODS AND RESULTS OF ELECTROCHEMICAL INVESTIGATION OF THE RELIEF OF FILMS DEPOSITED BY MAGNETRON SPUTTERING МЕТОДИКИ И РЕЗУЛЬТАТЫ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ИССЛЕДОВАНИЯ РЕЛЬЕФА ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ ПУТЕМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ / Obrezkov, O.I. [et al.] // Problems of Atomic Science and Technology, Series Thermonuclear Fusion. - 2024. - 47. - № 2. - P. 98-110. - 10.21517/0202-3822-2024-47-2-98-110
URI
https://www.doi.org/10.21517/0202-3822-2024-47-2-98-110
 https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85203599066&origin=resultslist
 https://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/26310
Коллекции
Публикации