Publication: ИЗУЧЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ P-N-СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ
Дата
2015
Авторы
Борисова, А. В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Аннотация
В ходе данной дипломной работы были исследованы электрофизические характеристики p-n-структур на основе карбида кремния ионно-легированного бором. На основе полученных данных были проведены: -измерения вольт-амперных характеристик ионно-легированных структур на основе карбида кремния; -определено напряжение пробоя и напряжение, при котором открываются p-n-диоды; -рассчитана концентрация примеси бора в ионно-легированных структурах карбида кремния с использованием программного пакета TRIM; -посчитан коэффициент активации внедренной примеси бора. Отчет по дипломной работе изложен на 51 странице, содержит 5 таблиц и 22 рисунка, список использованных источников состоит из 32 наименований.
Описание
Уровень образования: специалитет; Код направления/специальности: 010501; Группа: Т10-67Б
Ключевые слова
ВКР , Выпускная квалификационная работа
Цитирование
Борисова, А. В. ИЗУЧЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ДОЗЫ ИМПЛАНТАЦИИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ P-N-СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ : Выпускная квалификационная работа, специалитет, 010501 / А. В. Борисова ; рук. работы Каргин Николай Иванович, 2015