Publication: ОТРАЖЕНИЕ ИОНОВ ВОДОРОДА ОТ МНОГОСЛОЙНЫХ МИ-ШЕНЕЙ
Дата
2017
Авторы
БУЛГАДАРЯН, Д. Г.
КУРНАЕВ, В. А.
СИНЕЛЬНИКОВ, Д. Н.
ЕФИМОВ, Н. Е.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
НИЯУ МИФИ
Аннотация
Возможность анализа толщины тонких слоев материалов с резко раз-личающимися атомными номерами методом рассеяния легких ионов ос-нована на резком отличии сечения рассеяния ионов водорода для веществ с большим и малым атомным номером. Методика анализа тонкого слоя тяжелого вещества внутри вещества с малым атомным номером для ионов низких энергий (несколько кэВ) по энергетическому спектру отраженных частиц была продемонстрирована в [1].
Описание
Ключевые слова
Конференции НИЯУ МИФИ
Цитирование
ОТРАЖЕНИЕ ИОНОВ ВОДОРОДА ОТ МНОГОСЛОЙНЫХ МИ-ШЕНЕЙ [Текст.] / БУЛГАДАРЯН Д.Г. [и др.] // Взаимодействие плазмы с поверхностью: сборник научных трудов XX конференции. - 2017. - С. 40-43