Publication:
Magnetron Plasma Sputter Deposited W-Layers Permeability Influence on the Cycling Stability of thin Film Electrochromic Modules

Дата
2021
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издатель
Научные группы
Организационные подразделения
Организационная единица
Институт лазерных и плазменных технологий
Стратегическая цель Института ЛаПлаз – стать ведущей научной школой и ядром развития инноваций по лазерным, плазменным, радиационным и ускорительным технологиям, с уникальными образовательными программами, востребованными на российском и мировом рынке образовательных услуг.
Выпуск журнала
Аннотация
© 2021, Pleiades Publishing, Ltd.Abstract: The processes of thin film electrochromic modules degradation during their cycling through the formation of blisters within the PVD sputtered tungsten oxide electrode layers are considered. The formation of blisters is shown to be caused by the retention of radical components transported into the tungsten films from the underneath layers of the module’s layerstack. Permeability of the ceramic tungsten-oxide layers of varying stoichiometry is studied by the means of thermal desorption spectroscopy and the ways for increasing the cycling sustainability of tungsten layers through their reactive magnetron PVD in deficiency of reactive component of working gas mixture are proposed.
Описание
Ключевые слова
Цитирование
Magnetron Plasma Sputter Deposited W-Layers Permeability Influence on the Cycling Stability of thin Film Electrochromic Modules / Kravchenko, V.V. [et al.] // Physics of Atomic Nuclei. - 2021. - 84. - № 10. - P. 1770-1775. - 10.1134/S1063778821090234
Коллекции