Publication:
Ругейт-фильтр на основе пористого кремния как элемент оптического сенсора

Простая страница элемента
dc.contributor.advisorМартынов Игорь Леонидович
dc.contributor.authorРахимов, Р. А.
dc.date.accessioned2025-02-12T14:39:51Z
dc.date.available2025-02-12T14:39:51Z
dc.date.issued2018
dc.descriptionУровень образования: специалитет; Код направления/специальности: 140303; Группа: Т11-81
dc.description.abstractДипломная работа посвящена изготовлению ругейт-фильтров из пористого кремния с прогнозируемыми оптическими параметрами для использования в качестве элемента оптического сенсора методом электрохимического травления высоколегированного монокристаллического кремния p-типа. Тема исследований является весьма актуальной, подобные структуры могут быть использованы в качестве высокочувствительных биологических и газовых сенсоров.
dc.identifier.citationРахимов, Р. А. Ругейт-фильтр на основе пористого кремния как элемент оптического сенсора : Выпускная квалификационная работа, специалитет, 140303 / Р. А. Рахимов ; рук. работы Мартынов Игорь Леонидович, 2018
dc.identifier.urihttps://openrepository.mephi.ru/handle/123456789/31491
dc.languageruru
dc.subjectВКР
dc.subjectВыпускная квалификационная работа
dc.titleРугейт-фильтр на основе пористого кремния как элемент оптического сенсора
dc.typeВКР
dspace.entity.typePublication
Файлы
Коллекции
Выпускные квалификационные работы